공기를 가열하는 것을 그만두고, 직접 부품을 가열하세요. 반도체 클린룸에서는 잘못된 부분을 가열하는 것은 단순한 전력 낭비가 아니라, 심각한 안전 문제를 야기합니다. 만약 전통적인 대류식 히터를 사용한다면, 결국 공기와 전체 기계의 케이스까지 함께 가열되게 됩니다....

웨이퍼에 적절한 열을 전달하는 방법 클린룸에서 적외선 램프를 사용할 때의 목표는 간단합니다. 바로 열이 정확히 필요한 곳에 전달되도록 하는 것입니다. 에너지를 낭비해서는 안 되며, 환경도 망가뜨려서는 안 됩니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 반사체를 사용합니다. 이를...

왜 우리는 공장에서 전통적인 오븐 대신 적외선을 사용하는가? 현재 클린룸을 업그레이드하고 있다면, 분명히 많은 압박을 느끼고 있을 것입니다. 친환경 에너지 목표를 달성해야 하고, 납이 포함되지 않은 재료를 사용해야 하며, 시간도 계속 흘러갑니다. 기존의 대류식 오븐들...

300mm 공정에서는 소프트 베이크 과정 중 0.3°C만의 온도 변동이 있어도 CD 바이어스가 규격을 벗어나게 되고, 그 결과 전체 제품이 폐기될 수 있습니다. 따라서 열 관리에 있어서 또 다른 변수는 필요하지 않습니다. 당사의 클린룸용 적외선 히터는 이러한 불확실성...