공기를 가열하는 것을 그만두고, 직접 부품을 가열하세요.
반도체 클린룸에서는 잘못된 부분을 가열하는 것은 단순한 전력 낭비가 아니라, 심각한 안전 문제를 야기합니다.
만약 전통적인 대류식 히터를 사용한다면, 결국 공기와 전체 기계의 케이스까지 함께 가열되게 됩니다. 이로 인해 내부 벽면이 너무 뜨거워져서 작업자가 화상을 입거나, 보호하려는 섬세한 부품들이 손상될 수 있습니다.
우리는 다른 방식을 사용합니다. 바로 방향성 적외선 기술을 활용하는 것입니다.
물리적 원리
적외선 램프는 공기에는 관심이 없습니다. 이 램프는 직선으로 방사선을 방출하며, 물체에 부딪혔을 때만 에너지를 전달합니다.
초점 거리를 조절하여 램프를 적절한 위치에 배치함으로써, 열을 웨이퍼나 기판에 직접 전달할 수 있습니다. 주변 장비는 그 열을 받지 않으므로 차가운 상태를 유지할 수 있습니다. 즉, 방 전체가 아닌 특정 부품만을 가열하는 것입니다.
제어 및 안전성
우리는 짧은 파장의 적외선을 사용합니다. 이렇게 하면 방사선이 목표물에서 반사되어 기계의 내벽이 가열되는 현상을 막을 수 있습니다.
또한, 이 램프를 PID 제어기와 함께 사용하면 즉각적인 반응이 가능합니다. 스위치를 켜는 순간 바로 열이 발생하고, 전원을 끄면 거의 즉시 열이 사라집니다. 그러므로 기계의 케이스가 잔열을 오랫동안 견디지 않아도 됩니다.
단점
하지만 한 가지 단점이 있습니다. 고강도 적외선 램프는 아주 작은 공간에 엄청난 양의 에너지가 집중되기 때문에, 열이 매우 빠르게 발생합니다. 게다가 이 램프들은 매우 뜨거워집니다.
만약 환기 시스템이 제대로 작동하지 않아서 그 열이 램프 케이스에서 빠져나가지 못한다면, 배선이 손상되거나 커넥터가 녹을 수 있습니다. 따라서 방향성 있는 에너지와 효과적인 냉각 시스템을 조화시켜야 합니다. 그렇지 않으면 예상보다 훨씬 빨리 부품을 교체해야 할 것입니다.
주변 공기의 온도와 싸우지 마세요. 직접 부품을 가열하고, 벽면은 계속 차가운 상태로 유지하세요.