적외선 소프트 베이크 램프

생산 라인에서의 소프트 베이킹 과정은 단순한 예비 가열 단계가 아닙니다. 이 과정에서 웨이퍼의 선폭과 수율이 처음으로 명확하게 결정됩니다. 단 몇 도의 온도 변동만으로도 정밀한 치수 제어에 문제가 생기고, 웨이퍼의 형상에도 영향을 미쳐, 이미 처리가 완료된 웨이퍼들까...