공장에서 에너지를 낭비하지 마세요. 웨이퍼를 치료할 때는 더 많은 전력을 사용하면 더 좋은 결과가 나올 것이라고 생각하기 쉽습니다. 하지만 문제는, 그 에너지가 실제로 웨이퍼에 도달하지 않는다면 아무런 소용이 없다는 점입니다. 일반적인 석영 램프를 예로 들어보겠습니다...

공정 현장에서, 포토레지스트 프로파일은 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 확정된다. 웨이퍼 전체에서 0.5도 정도의 온도 편차만으로도 치명적인 치수 이동, 오버레이 오차 발생, 그리고 수 시간에 걸친 리소그래피 작업이 무효화될 수 있다. 경화 램프 내 반사체는 단...