텅스텐 필라멘트 석영 램프

팹에서는 5nm 공정에서 열 균일성이 저하되면 생산이 중단됩니다. 웨이퍼 건조, 소프트 베이크, 하드 베이크 과정에서도 이러한 열 균일성의 변화는 용납될 수 없습니다. 램프의 성능이 저하되면 웨이퍼 가장자리에 결함이 생기거나, 접착력이 약해지며, 입자 문제가 발생하여...