웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

클린룸을 망치지 않고 실리콘 웨이퍼를 가열하는 방법 클래스 100 수준의 클린룸에서 작업할 때는 아주 작은 먼지 한 알만 있어도 큰 문제가 됩니다. 단 하나만 있어도 충분합니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 재료가 떨어져 나가거나 가스가 공기 중으로 유출되는 것을 막...