클린룸 오븐 적외선 히터

300mm 공정에서는 소프트 베이크 과정 중 0.3°C만의 온도 변동이 있어도 CD 바이어스가 규격을 벗어나게 되고, 그 결과 전체 제품이 폐기될 수 있습니다. 따라서 열 관리에 있어서 또 다른 변수는 필요하지 않습니다. 당사의 클린룸용 적외선 히터는 이러한 불확실성...