교체용 히팅 엘리먼트 IP65
적절한 온도를 유지하는 방법 적외선 히터의 와트수를 잘못 선택하면 문제가 생깁니다. 너무 낮은 와트수를 사용하면 추운 부분이 생기고, 반대로 너무 높은 와트수를 사용하면 전기 요금만 많이 나갑니다. 저희는 IP65 기준에 맞게 히터를 설계했습니다. 이는 증기나 물방울...
와이퍼 건조기용 램프 교체용 전구
팹에서는 웨이퍼 건조기가 스핀 트랙과 핫 플레이트 사이에 위치합니다. 만약 이 장치의 램프가 제자리를 벗어나면 열 균일성이 해치집니다. 그 결과, 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도도 일정하지 않게 되고, 치명적인 결함들이 발생합니다. 이로 인해 폐기물이 발생하고 재...
RTP 할로겐 램프 교체
반도체 제조 현장에서 RTP 장비는 단순한 배경 소음이 아니다. 포토레지스트 베이크, 활성화, 어닐링의 속도를 결정하는 열적 메트로놈 역할을 하며, 매번 공정이 진행될 때마다 중요하다. 할로겐 램프 스택이 미세하게 변동하면 온도 프로파일도 그에 따라 변한다. 소프트...