램프용 SCR 전력 레귤레이터

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.1°C만의 온도 변화라도 발생하면, 웨이퍼 표면의 균일성에 문제가 생깁니다. 이런 상황이 발생하면 수 시간에 걸쳐 진행된 리소그래피 작업이 모두 낭비되고 맙니다. 그래서 우리는 램프의 온도를 일정하게 유지하기 위해 SCR...