램프가 파손되는 악몽을 막아보세요 고부하가 걸리는 공장에서 일해본 적이 있다면 그 느낌을 잘 알 겁니다. 적외선 램프가 파손되는 것은 단순한 기술적 문제가 아니라, 심각한 재앙입니다. 램프가 고장나면 그냥 작동을 중단하는 것이 아닙니다. 유리 조각과 화학 물질들이 웨...

팹에서는 5nm 공정에서 열 균일성이 저하되면 생산이 중단됩니다. 웨이퍼 건조, 소프트 베이크, 하드 베이크 과정에서도 이러한 열 균일성의 변화는 용납될 수 없습니다. 램프의 성능이 저하되면 웨이퍼 가장자리에 결함이 생기거나, 접착력이 약해지며, 입자 문제가 발생하여...

생산 현장에서 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’는 단순한 ‘가열 과정’에 불과한 것이 아닙니다. 이들은 공정 제어의 핵심적인 지점으로서, 2°C만큼의 온도 변동만으로도 웨이퍼의 두께를 정밀하게 제어하는 데 문제가 생길 수 있습니다. 2700W 출력을 가진 투명한 석...

리소그래피 플로어에서 포토레지스트 베이크 중 0.3°C의 드리프트는 제어된 공정을 스크랩으로 전환시키는 요인이다. 웨이퍼의 열 예산은 협상이 불가능하며, 이를 유지하거나 비용을 치러야 한다. 우리는 이러한 현실을 바탕으로 적외선 쿼츠 램프를 설계했으며, 공정은 반복...