반도체 제조 과정에서의 열 관리를 더 지속 가능하게 만들기 (그리고 문제를 줄이기) 칩 제조 분야에서 탄소 중립을 실현하려는 노력이 점점 더 활발해지고 있습니다. 이제는 옛날식의 가열 장치 대신 적외선을 이용한 가열 방식이 많이 사용되고 있습니다. 당연한 일이죠. 거...

왜 금 코팅된 적외선 램프가 반도체 제조에 적합한지 반도체 제조에 종사해 본 사람이라면, 온도를 정확하게 조절하는 것이 얼마나 어려운지 잘 알고 있을 것입니다. 조금만 실수해도, 아주 작은 온도 상승만으로도 전체 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 스트레스가 많은 일...

왜 반도체 가공에 적외선을 사용하는가? 오랫동안 우리는 반도체를 가열하는 데 있어 열공기 순환 방식이 가장 효과적인 방법이라고 생각해왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 이 방식은 너무 느립니다. 공기는 열을 전달하는 데 매우 형편없는 매질입니다. 공기가 따뜻해질 때까지...

반도체 적외선 가열을 위한 고정밀 서모커플: 더 친환경적인 공장을 만들어냅니다. 이제 반도체 제조에 대해 이야기해보겠습니다. 모두가 탄소 중립을 추구하고 있죠. 솔직히 말해서, 가열 시스템은 그 목표를 달성하기 위해 매우 중요한 요소입니다. 빠르고, 쉽게 제어할 수...

공정 현장에서의 포토레지스트 베이크가 0.2°C만 변동해도 중요한 치수가 변경될 수 있으며, 많은 웨이퍼가 폐기물로 전환될 수 있습니다. 우리는 이러한 변동성을 제거하기 위해 반도체 클린룸 트롤리 히터를 설계했습니다. 기술적으로 중요한 것은 적재물의 온도 균일성...