에너지 효율적인 웨이퍼 히터

웨이퍼 가열기가 엉망이 되는 것을 막아보세요. 고부하 환경에서는 램프가 파손되는 것은 큰 문제입니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 파편들을 청소하는 데도 많은 시간이 걸립니다. 석영관이 파손되면 유리 조각과 금속 찌꺼기들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그러면...