반도체 제조 장비에서 발생하는 열 낭비를 막아보세요. 일반적인 적외선 램프의 문제점은, 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 이러한 램프들을 좁은 장비 내부에 넣으면, 그 “360도”로 퍼지는 열 때문에 골칫거리가 생깁니다. 열은 장비의 내부 벽에 닿아서, 장비 전...

팹에서는 웨이퍼 건조기가 스핀 트랙과 핫 플레이트 사이에 위치합니다. 만약 이 장치의 램프가 제자리를 벗어나면 열 균일성이 해치집니다. 그 결과, 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도도 일정하지 않게 되고, 치명적인 결함들이 발생합니다. 이로 인해 폐기물이 발생하고 재...