
为什么我们要放弃热风加热,转而使用镀金红外加热器?
说实话,热风加热的速度实在太慢了。首先需要加热空气,然后由空气来加热工件。在半导体加工过程中,这中间那一环纯粹是浪费时间。在漫长的加热过程中,你只能一直盯着时钟看,同时希望热量能均匀地照射到晶圆上。 这真是效率极低的方式。
镀金技术的优势
为了解决这个问题,我们采用了双管设计。这样一来,虽然灯丝的表面积增加了,但灯的长度并没有因此而变得过长。 不过,真正的秘诀在于镀金层。可以说,镀金层就像一面镜子,能够将红外线反射回去,直接照射到工件上。这样,短波能量就能立刻作用于目标区域,无需等待空气变热,也没有延迟。热量可以精确地传递到需要的地方。
节省时间,提高效率
一旦改用镀金红外加热器,加热过程就会大大缩短。原本需要几分钟才能达到的稳定状态,现在几秒钟就能实现。 而且,它还具备精准控制的优点。不必让整个炉腔都升温,只需针对半导体组件的特定部位进行加热即可。这种方式更加温和,从而避免了给最敏感的材料带来热应力。
需要注意的问题及解决方案
当然,你不能直接把热风系统换成镀金红外加热器。因为其能量过于集中,导致温度上升得非常快。如果通风系统不够完善,就可能会损坏安装支架或连接器。因此,你必须确保冷却系统能够胜任这项任务。 一些实用的建议:使用耐高温的导线,同时检查PID控制器。由于红外加热器的响应速度极快,如果控制器设置不当,就很容易超过目标温度。