晶圆工具的温度传感器

线上，那个300 mm的晶圆正静置，等待软烘烤以确定线宽控制。热板温度曲线出现2°C的波动？这足以导致关键尺寸偏移超过1 nm，每一次偏差循环都会导致一批次报废。我们专为这种环境设计了晶圆工具温度传感器，在这里，热预算不是建议，而是硬性界限。 内部关键指标 在200–250°C的整个烘烤窗口内，温...