如何让晶圆获得恰到好处的热量
在洁净室中使用红外灯时，目标很明确：将热量精准地传递到需要的地方。我们当然不想浪费电能，也更不想破坏洁净室的环境。因此，我们使用了镀金反射器。这样一来，红外辐射就能直接照射到晶圆上，而不会无端加热灯体本身。
为什么选择黄金？
大多数人会使用铝制反射器，但问题在于，铝会吸收一部分红外辐射。而黄金则不同——它在红外波段具有极高的反射率，这样就能更有效地将热量传递到晶圆上。
每消耗一瓦特的电能，都能真正作用于晶圆表面。这样的效率显然更高。
更少的热量，更低的压力
在选择这类灯具时，我们需要考虑的是其能量密度。由于镀金层的有效性，无需提高功率就能达到所需的温度。
这对HVAC系统来说是个巨大的优势。因为这些灯具不会向空气中释放热量，所以洁净室里的温度就能保持较低，整个房间也就不会像烤箱一样热。
我们设计的这些灯具可以轻松替代现有的灯具。不过需要提醒的是，由于它们的效率极高，晶圆升温的速度会比原来快。因此，您需要调整PID控制器，以避免温度超出控制范围。
保持清洁
既然这些灯具用于洁净室中，那么就必须避免任何可能产生气体的物质。我们绝对不能让污染物损坏晶圆。同时，我们还会对镀金层进行密封处理，以防其氧化。
请小心操作这些灯具。如果镀金层出现划痕或被油污污染，就会导致晶圆上的热量分布不均。
请务必保持这些灯具的清洁。另外，请只使用经过认证的溶剂，以免意外刮掉镀金层。