灯具用SCR功率调节器

在晶圆制造过程中，光刻胶烘烤时的温度偏差只要达到0.1°C，就足以影响层间对准度以及CD的均匀性。一旦出现这样的偏差，就需要重新进行数小时的晶圆加工工作。因此，我们为光源设计了SCR功率调节器，以此来确保温度始终处于稳定状态——无论是在不同的生产批次中，还是经过多年的使用之后。 从技术层面来看，关...