
为什么镀金红外灯其实非常适合用于半导体制造工艺中?
如果你有过半导体制造的经验,就会知道实现精确的温度控制是多么困难。哪怕出现一点点偏差,温度稍有上升,整批晶圆就都报废了。这确实是一件令人头疼的事情。 大多数人选择使用传统的电阻式加热器,但这类设备耗能极大。因此,我们选择了镀金红外灯来替代它们。
镀金层的作用
普通石英灯会向四周散发热量——其发出的辐射范围很广。而当我们在石英灯表面加上一层薄薄的黄金后,情况就完全不同了。 黄金就像一面镜子,能够将长波辐射反射回去,让能量集中在一个狭窄的波段内。这样,能量就能更精准地作用于晶圆上,而不是整个机器的各个部分。这样一来,设备的升温速度更快,而且也不必浪费能源。
在有限空间内释放巨大能量
在半导体制造中,空间始终是个问题。我们设计的这种灯泡能够在极小的区域内释放出大量的热量。 由于热量密度很高,因此可以缩小加热区域。这样一来,就不必浪费时间和能源去加热大面积的空气,能量可以直接作用于目标物体上。 不过需要注意的是,这种灯泡的能耗非常高。因为能量需要通过极小的点来传递,所以电源系统必须非常可靠。如果电压不稳定,就会出现温度波动,而这种波动会直接影响产品的良率。
减少成本与碳排放
现在大家都在谈论“绿色工厂”,但实际上,关键还是每块晶圆所消耗的电能。这种直接加热的方式的好处在于,它只加热晶圆本身,而不需要加热整个房间。这样一来,不仅可以降低电费,还能减轻空调和冷却系统的负担。 当然,这种灯泡的初始成本较高,因为黄金的价格并不便宜。但从较短的加工时间以及较低的月度能源成本来看,这些灯泡通常在第一年内就能收回成本。 这是一种更高效的制造方式。