
别再浪费能源在无效的加热上
在固化晶圆的过程中,人们很容易认为,功率越大,效果就越好。但实际上,如果能量无法真正作用于晶圆上,那么增加功率其实毫无意义。
以普通的石英灯为例,它向四周散发热量——360度无死角地散发。如果没有办法捕获这些热量,那相当于把一半的电能耗在给机器框架加热上了,这无疑是一种时间和金钱的浪费。
为什么选择黄金?
我们使用高纯度的金涂层来防止热量散失。你可能会问,为什么不使用铝或抛光钢呢?很简单,因为黄金在反射红外线方面表现更好。通过在灯的背后加上一层薄薄的黄金,我们可以将这些反向传播的光子重新引回晶圆上。这样一来,原本分散的热量就能集中到晶圆上,从而让晶圆获得更集中的热量,而电费则保持不变。
不过,也有缺点
虽然这听起来很神奇,但实际上还是有一些缺点的。因为要把这么多能量集中在一个点上,所以灯的电极和石英外壳会承受很大的压力,温度也会非常高。如果冷却系统不够强大,那么灯管很快就會损坏。
好消息是
这类产品是可直接替换的,无需重新组装整个装置。我们在设计金涂层的几何结构时非常用心,确保热量能准确作用于晶圆的Z轴上。一个小贴士:在接线时,请务必确认电源能够承受涂层后灯管的特定阻抗,这样才能避免电压下降的问题。只要操作得当,每瓦特的电能都能用于晶圆的固化过程,而不会被浪费在加热空气上。