停止给机器的壁面加热吧（转而直接为晶圆加热）
有没有过这样的经历：当你靠近半导体设备时，会感觉到从设备外壳散发的强烈热量？这真是烦人的问题。普通的红外灯会把热量均匀地散发到各个方向，在空间有限的设备内部，这些热量会不断反射，最终导致设备内壁过热。 很快，设备就会出现变形，更糟糕的是，操作人员还可能被烫伤。这简直就是一场灾难。 我们找到了更好的解决方案——使用无臭氧的定向红外技术。
其工作原理
大多数短波灯其实只是强化版的灯泡而已，它们会将能量向各个方向释放。而我们的方法则不同。通过使用特殊的石英涂层以及调整反射器的结构，我们可以将能量集中到特定的区域。 可以说，这就相当于把泛光灯换成手电筒。这样，能量就不会让整个设备外壳都变热，而是直接作用于晶圆或基底上。
臭氧问题
普通短波灯还会产生紫外线辐射。在封闭的空间里，这种辐射会与氧气反应，从而产生臭氧。 如果你有过类似的经验，就知道臭氧会对精密部件造成损害，还会触发安全警报，导致设备停止运行。为了解决这个问题，我们的装置使用了特殊的石英材料来过滤掉那些有害的紫外线。这样一来，就不会有臭氧产生了，也不会有腐蚀现象，更不会有烦人的警报声了。 一个小贴士：如果你使用的是高功率的红外灯，那么就必须注意设备的冷却系统。因为所有的能量都被集中在一个很小的区域内，所以风扇的位置必须非常精确。否则，灯的末端可能会被烧坏。
为什么这能让你的工作更轻松
一旦解决了“设备壁面过热”的问题，一切都会变得简单起来。你不必再在设备的内部壁面上使用厚厚的隔热材料，这样一来，设备的体积就可以变得更小。此外，工作人员在维护设备时也不必再担心会被烫伤。 而且，效率也会提高。因为不再需要浪费能量来加热空气和金属外壳，所以材料的升温速度会更快。每轮加工所需的能量也会减少。 最后提醒一点：请确保你的电源能够承受灯具启动时的电压波动。一旦灯具开始工作，那就没什么好担心的了。