ウェーハの加熱を適切に行うには
クリーンルーム内で赤外線ランプを使用する際、目指すべきは単純です。つまり、熱を正確に必要な場所に届けることです。無駄な電力の消費は避けたいし、環境を壊してしまうことも絶対に避けたいのです。そのために、私たちは金コーティングされた反射板を使用します。これにより、赤外線がウェーハに直接当たり、ランプの本体が無駄に熱くなることがありません。
なぜ金なのか？
ほとんどの人はアルミニウム製の反射板を使いますが、実はアルミニウムは赤外線の一部を吸収してしまいます。一方、金は異なります。赤外線領域において非常に高い反射率を持っているため、熱を効果的にウェーハに伝えることができます。
投入される1ワットの電力も、すべてウェーハ表面で有効に利用されます。つまり、より効率的なのです。
熱が少なく、ストレスも少ない
このようなランプを選ぶ際には、エネルギー密度が重要になります。金コーティングのおかげで、高出力を必要とせずに目標温度に到達できます。
これはHVACシステムにとって大きな利点です。ランプから空気中に熱が漏れ出さないため、クリーンルームの温度が下がります。つまり、部屋全体がオーブンのように暑くならないのです。
これらは、既存の設備に簡単に取り替えられるように設計されています。ただし、注意が必要です。効率が高すぎるため、ウェーハが通常よりも早く熱くなります。そのため、PIDコントローラを調整して、温度が過剰に上昇しないようにしてください。
清潔を保つ
これらのランプはクリーンルーム内で使用されるため、ガスが発生する可能性のある材料は一切使用していません。汚染物質がウェーハを損傷させることがないようにしています。また、金層が酸化しないように密封もしてあります。
ただし、注意が必要です。コーティングが傷ついたり、油が付着したりすると、ウェーハ上の熱分布が不均一になってしまいます。
必ず清潔に保ちましょう。そして、認可された溶剤のみを使用してください。金フィルムが剥がれてしまわないように注意してください。