マシンの壁を加熱するのをやめて、ウェーハを直接加熱しましょう
半導体装置の本体に近づくと、チャッシュから熱が放散されているのを感じたことはありますか？それは本当に厄介です。一般的な赤外線ランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。狭いスペースでは、そのエネルギーが跳ね返り続け、内部の壁を過度に加熱してしまいます。
その結果、機器が変形したり、最悪の場合、作業員が火傷を負ったりします。本当に大変です。
私たちは、オゾンを使わない特殊な赤外線技術を用いて、より良い解決策を見つけました。
実際の動作原理
ほとんどの短波ランプは、基本的には強化された電球のようなもので、エネルギーをあらゆる方向に放出します。しかし私たちの方法は異なります。特殊な石英コーティングを使用し、反射器の形状を調整することで、光束を絞り込みます。これは、ハイビームライトから懐中電灯に切り替えるようなものです。つまり、筐体全体を加熱するのではなく、エネルギーを正確にウェーハや基板に集中させるのです。
オゾンの問題
一般的な短波ランプの問点は、紫外線を放出することです。閉鎖系内では、その紫外線が酸素と反応してオゾンが生成されます。これにより、繊細な部品が腐食し、セーフティアラームが作動して装置が停止してしまいます。これを解決するため、私たちのランプでは、VUV波長を遮断する特殊な石英製のケースを使用しています。オゾンが発生しないので、腐食や煩わしいアラームもありません。
ちなみに、高ワット数のランプを使用する場合は、冷却機能に注意しましょう。エネルギーを一点に集中させるため、ファンの配置が非常に重要です。そうでないと、ランプの端が損傷する可能性があります。
なぜこれが便利か
「熱い壁」の問題が解決されれば、すべてが変わります。内壁の厚い断熱材を省略できるため、装置をより小型にできます。また、メンテナンス時に作業員が装置に触れるのも怖くありません。
さらに、効率も向上します。空気や金属筐体を加熱するためのエネルギーが不要になるため、材料の温度上昇が速くなります。1サイクルあたりの消費電力も減少します。
ただし、ランプが初めて点灯する際には、電源が電圧の急激な変動に対応できるかを必ず確認してください。一度点灯すれば、問題ありません。