ファブのライン上で、ソフトベイクという工程は単なる予熱段階ではありません。ここで初めて、ウェーハの線幅や歩留まりが正確に決定されます。わずか数度の温度変動でも、重要な寸法の制御が乱れたり、ウェーハの側壁の形状が変わったりしてしまい、すでに工程を通過したウェーハが廃棄されることもあります。私たちは、このような変動を排除するために、赤外線ソフトベイクランプを開発しました。
技術的に重要な点 私たちは短波長の赤外線を使用し、基板を直接かつ迅速に加熱します。また、ループ制御によってウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保ちます。クォーツ製の窓と反射器の構造により、熱分布が安定し、バッチごとにすべてのウェーハが同じ条件で加熱されます。この装置はクリーンルーム対応であり、低発ガス性の材料を使用し、粒子の発生を可能な限り抑える設計になっています。
実際の工程での利点 このランプは、他の工程と同じ条件下で動作するため、ソフトベイクの品質が一定に保たれます。ウェーハの乾燥やフォトレジストの硬化、クリーニング後の乾燥など、どの工程でも同じ再現性が得られます。包装ラインでは、厳格な温度管理によって、再工程が少なくなり、CDのばらつきも少なくなります。また、ランプが迅速に設定温度に到達し、その状態を維持できるため、エネルギー消費も削減されます。
実際に考慮すべき点 設置時には、コネクタの種類や物理的な隙間など、装置の接続部分に合わせる必要があります。このランプはクラス1～100のクリーンルームで使用できますが、出力を安定させ、温度の変動を防ぐためには、エミッターパネルの周囲に清潔で乾燥した空気が流れる必要があります。エミッターの交換後は、しばらくの時間がかかりますが、定期的な再調整を行うことで、均一性を維持できます。