ファブ内で無駄にエネルギーを使うのはやめましょう。
ウェーハを硬化させる際、より多くの電力を使えば良い結果が得られると思いがちです。しかし実際には、そのエネルギーがウェーハに届かなければ意味がありません。
一般的な石英ランプを考えてみてください。このランプは360度全方位に熱を放出します。もしそのエネルギーを捕捉する手段がなければ、電力の半分は機械のフレームを温めるためだけに使われてしまいます。これは時間とお金の無駄です。
なぜ金なのか？
私たちは、そのエネルギーの漏れを防ぐために高純度の金コーティングを使用しています。では、なぜアルミニウムや研磨された鋼鉄を使わないのかというと、単純です。金の方が赤外線を反射する能力がはるかに優れているからです。
ランプの後ろに薄い金の層を設置することで、逆方向に進む光子を再びウェーハの方へと送り返すことができます。そうすることで、広範囲に散らばる熱を集中したビームに変えることができます。これにより、ウェーハに与えられる熱量は大幅に増えますが、電気代は変わりません。
注意点
もちろん、これは魔法のようなものではありません。何かしらのトレードオフがあります。
非常に多くのエネルギーを一点に集中させるため、ランプの電極や石英製のケースに大きな負担がかかります。それらは非常に高温になります。もし冷却ファンが十分でなければ、管の端が早く壊れてしまいます。
実装方法
良いことに、これらは直接交換可能な設計になっています。全体を再構築する必要はありません。
金の層の形状には多大な労力を費やしており、ウェーハのZ軸上の正確な位置にエネルギーが届くようにしています。ちなみに、接続する際には、電源がコーティングされた管の特性インピーダンスに対応できるかを必ず確認してください。そうしないと、電圧降下が起こってしまいます。
正しく行えば、消費されるエネルギーはすべてウェーハの硬化に使われ、クリーンルーム内の空気を温めるためには使われません。