MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

装置を加熱するのはやめよう：MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際、水分を完全に取り除くことが求められます。しかし、多くの人々は、見える範囲内のすべてのものを加熱することでそれを試みています。 通常の対流式や全方位加熱では、高価な半導体製造装置が巨大...