電球が破損するという悪夢を防ぐには
高負荷の製造現場で働いたことがある人なら、その苦しさはよくわかるでしょう。赤外線ランプが破損すると、それは単なる技術的なトラブルではありません。それはまさに災害です。
電球が壊れると、単に動かなくなるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハに飛び散ります。そうなると、ウェーハの品質は台無しになります。これは大変な問題であり、費用もかかり、誰にとっても頭痛の種です。
だからこそ、私たちはランプを高純度の石英製のシールドで覆っています。これは、ウェーハを守るための保険のようなものです。
なぜ石英なのか？
製造現場の環境というのは、温度の変化が激しいのが特徴です。ランプは急激に高温になったり低温になったりします。
通常のガラスでは、このような状況では簡単に破損してしまいます。しかし、融着石英なら、そのような高温に耐えることができます。
つまり、石英は物理的な防火壁の役割を果たすのです。もし電圧が急上昇してハロゲン電球が爆発しても、石英製のシールドがその破片を受け止めてくれます。そうすれば、ウェーハは無事です。とても簡単です。
デメリットとメリット
正直に言うと、シールドを取り付けると、熱源と対象物の間に何かを挟むことになります。その結果、赤外線の透過率が少し低下します。
しかし、それは仕方のない代償です。熱の低下を補うために、ランプの出力を上げればいいのです。そうすれば、ウェーハ表面に必要な熱量が得られ、シールドのおかげで安心できます。
ちなみに、エアフローも確認してください。シールドのせいで、電球の端辺に熱が溜まることがあります。ケースの換気が十分でないと、コネクタに過剰な負荷がかかる可能性があります。
常に正常に動作させるために
私たちは、これらのシールドを簡単に交換できるように設計しました。許容範囲を厳密に管理することで、ランプが正確に中心に位置するようにしています。もし位置がずれると、石英上に熱点ができ、そこから問題が始まります。
破損した電球を交換する際には、シールドもチェックしてください。曇っていないか、傷やエッチングがないかを確認してください。もしそうなっていたら、新しいものに交換してください。曇ったシールドは赤外線の放射を遮断してしまい、その結果、電源装置が余計な労力を使って目的の温度を維持しなければなりません。汚れたガラスのせいで効率が低下することがないようにしましょう。