Warum wir auf heiße Luft zugunsten von goldbeschichteten Infrarot-Systemen umsteigen
Seien wir ehrlich: Heiße Luft ist einfach zu langsam. Zuerst wird die Luft erhitzt – anschließend heizt diese Luft wieder den zu behandelnden Teil auf. Im Bereich der Halbleiterverarbeitung ist dieser Zwischenschritt pure Zeitverschwendung. Man muss während der langen Erwärmungszeiten ständig auf die Uhr schauen und hoffen, dass die Wärme gleichmäßig auf das Wafer trifft.
Das ist wirklich ineffektiv.
Das Geheimnis liegt in der Goldbeschichtung
Wir haben beschlossen, dieses Problem mit einem Doppelrohr-Design zu lösen. Im Grunde genommen verdoppeln wir thus die Oberfläche der Glühfäden – ohne dass die Lampen dadurch unverhältnismäßig groß werden müssen.
Doch das eigentliche Geheimnis liegt in der Goldbeschichtung. Man kann sie als Spiegel für Wärmeenergie betrachten. Anstatt dass die Infrarotenergie in das Gehäuse entweicht, wird sie durch das Gold direkt auf das zu behandelnde Objekt reflektiert. Dadurch entsteht eine konzentrierte Welle aus Kurzwellenenergie, die sofort auf das Ziel trifft. Kein Warten auf die Erwärmung der Luft – keine Verzögerung. Einfach Wärme genau dort, wo sie benötigt wird.
Zeitersparnis – und auch für den Verstand ein Vorteil
Wenn man auf goldbeschichtete Infrarot-Systeme umsteigt, verkürzen sich die Aufheizzeiten erheblich. Was früher Minuten dauerte, geschieht nun in Sekunden.
Und das Beste daran: Man kann gezielt bestimmte Stellen auf dem Halbleiterbauteil erwärmen. Das ist eine viel sanftere Methode – man riskiert somit keinen thermischen Stress an den empfindlichsten Materialien.
Die „Fallstricke“ – und wie man damit umgeht
Man kann nicht einfach das Heißluftsystem entfernen und stattdessen diese Systeme verwenden. Denn die Energie ist so konzentriert, dass die Geräte sehr schnell heiß werden. Wenn die Belüftung alt oder schwach ist, können die Halterungen oder Anschlüsse beschädigt werden. Man muss also sicherstellen, dass die Kühlsysteme tatsächlich ausreichen.
Ein paar Tipps: Verwenden Sie Hochtemperaturkabel für die Verkabelung. Überprüfen Sie außerdem Ihre PID-Controller. Infrarot-Systeme reagieren sehr schnell – wenn die Controller nicht richtig eingestellt sind, wird die gewünschte Temperatur überschritten, bevor man es überhaupt bemerkt.