Die richtige Hitze für die Wafer erzeugen
Wenn man mit Infrarotlampen in einem Reinraum arbeitet, ist das Ziel einfach: Die Wärme genau dorthin bringen, wo sie benötigt wird. Man möchte keine Energie verschwenden – und auf keinen Fall die Umgebung ruinieren. Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen aus Gold. Dadurch wird die Infrarotstrahlung direkt auf die Wafer gelenkt, anstatt dass die Lampenhülle unnötig erhitzt wird.
Warum Gold?
Die meisten Menschen verwenden Aluminiumreflektoren – doch Aluminium absorbiert einen Teil des Infrarotstrahls. Gold hingegen ist äußerst reflektierend im Infrarotbereich. Dadurch wird die Wärme viel effektiver weitergeleitet. Jeder eingesetzte Watt Strom kommt tatsächlich bei der Erwärmung der Waferoberfläche zum Tragen – es ist also effizienter.
Weniger Wärme, weniger Stress
Beim Auswahl dieser Lampen geht es vor allem um die Energiedichte. Da die Goldbeschichtung so effektiv ist, kann man die gewünschten Temperaturen erreichen, ohne die Leistung der Lampen erhöhen zu müssen. Das ist ein großer Vorteil für Ihr HVAC-System – der Reinraum bleibt kühler, da die Lampen keine Wärme in die Luft abgeben. Dadurch fühlt sich der ganze Raum weniger wie ein Ofen an.
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie als einfache Ersatzlösung für Ihre vorhandene Ausstattung dienen können. Doch Achtung: Da sie viel effizienter sind, werden Ihre Wafer schneller warm. Sie sollten Ihre PID-Controller entsprechend anpassen, damit Sie nicht versehentlich die gewünschte Temperatur überschreiten.
Sauberheit halten
Da diese Lampen in einem Reinraum verwendet werden, haben wir alle Materialien entfernt, die zu Ausgasungen führen könnten. Wir dürfen keine Verunreinigungen zulassen, die Ihre Wafer beschädigen könnten. Zudem wird die Goldschicht versiegelt, damit sie nicht oxidiert.
Seien Sie vorsichtig mit diesen Lampen. Wenn die Beschichtung zerkratzt wird oder Öl darauf gelangt, entstehen ungleichmäßige Wärmeverteilungen auf der Waferoberfläche. Halten Sie sie sauber – und verwenden Sie bitte nur zugelassene Lösungsmittel. Sie möchten schließlich nicht versehentlich die Goldbeschichtung entfernen.