Hören Sie auf, Ihre Energie in der Fabrik zu verschwenden!
Wenn man Wafer trocknet, ist es verlockend zu denken, dass mehr Leistung bessere Ergebnisse bringt. Doch das stimmt nicht: Es spielt keine Rolle, wie viel Energie in die Lampe eingespeist wird – solange diese Energie nicht tatsächlich auf dem Wafer ankommt.
Stellen Sie sich eine herkömmliche Quarzlampe vor: Sie gibt Wärme in alle Richtungen ab – in 360 Grad. Wenn man keine Möglichkeit hat, diese Energie aufzufangen, verschwendet man im Grunde die Hälfte der eingesetzten Energie darauf, den Gehäuserahmen der Maschine zu erwärmen. Das ist eine Verschwendung von Zeit und Geld.
Warum Gold?
Wir verwenden hochreine Goldbeschichtungen, um diesen Energieverlust zu verhindern. Man könnte sich fragen, warum man nicht einfach Aluminium oder poliertes Stahl verwendet. Der Grund ist einfach: Gold reflektiert Infrarotlicht viel besser.
Durch das Anbringen einer dünnen Goldschicht hinter der Lampe können wir die zurückgerichteten Photonen wieder in Richtung des Wafers lenken. Dadurch entsteht ein fokussierter Strahl. So kommt die Wärme gezielt auf den Substrat – doch die Stromkosten bleiben unverändert.
Die Nachteile
Es handelt sich dabei jedoch nicht um Magie. Es gibt auch Nachteile. Da so viel Energie an einem einzigen Punkt konzentriert wird, werden die Elektroden der Lampe sowie die Quarzhülle stark belastet. Sie werden sehr heiß. Wenn die Kühllüfter nicht ausreichen, können die Enden der Lampen viel früher beschädigt werden.
Die gute Nachricht
Gut daran ist, dass diese Lampen als Ersatzteile verwendet werden können. Man muss die gesamte Anlage nicht neu aufbauen. Wir legen großen Wert auf die Geometrie der Goldschicht, damit der „ideale Punkt“ genau auf der Z-Achse des Wafers liegt. Ein kleiner Tipp: Überprüfen Sie bei der Installation unbedingt, ob Ihre Stromversorgung die spezifische Impedanz der beschichteten Lampen bewältigen kann. Sonst entstehen lästige Spannungsabfälle.
Wenn alles richtig gemacht wird, geht jede einzelne Wattstunde in die Trocknung des Wafers – und nicht dazu, die Luft in dem Reinraum zu erwärmen.