In der Fertigungshalle ist die sanfte Trocknungschance keine Art „Aufwärmphase“. Vielmehr ist sie der Moment, in dem Breite und Qualität der Schicht zum ersten Mal wirklich definiert werden. Schon eine Temperaturabweichung von einigen Grad kann die Kontrolle über die wichtigsten Abmessungen stören, das Profil der Seitenwände verändern und dazu führen, dass Wafer, die bereits die Vorausprüfungen überstanden haben, trotzdem als defekt gelten. Wir haben unsere Infrarotlampen so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten ausgeglichen werden.
Was technisch wichtig ist: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotemitter, die das Substrat direkt und schnell erhitzen. Durch eine geschlossene Temperaturregelung wird eine Konstanz auf der Oberfläche des Wafer erreicht – mit einer Abweichung von ±0,1°C. Die Geometrie des Quarzfensters sowie des Reflektors sorgt dafür, dass das thermische Profil stabil bleibt. So erhält jedes Wafer immer dieselben Bedingungen, batch für Batch. Die gesamte Anlage ist für Reinräume geeignet – sie verwendet Materialien mit geringer Ausgasung und eine Konstruktion, die die Entstehung von Partikeln auf ein Minimum reduziert.
Warum das in der Praxis vorteilhaft ist: Die Lampe kann in denselben Prozessablauf integriert werden wie die übrigen Geräte. Dadurch bleibt die sanfte Trocknungschance konstant – es gibt keine Überschreitung der Zieltemperaturen oder Verzögerungen. Die Lampe eignet sich daher zur Trocknung von Wafern sowie zur Trocknung nach der Reinigung. Auf Verpackungslinien ermöglicht sie eine kontrollierte Aushärtung mit präzisen Temperatureinstellungen. Dadurch wird weniger Nacharbeit erforderlich, die Verteilung der Abmessungen wird besser gesteuert und die Prozesszeiten können besser geplant werden. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Lampe schnell die gewünschte Temperatur erreicht und diese dann beibehält.
Was man bei der Planung berücksichtigen muss: Bei der Installation muss man darauf achten, dass die Anschlussart sowie die physischen Abstände stimmen. Die Lampe kann in Reinräumen der Klasse 1–100 eingesetzt werden. Doch es ist wichtig, dass über das Fenster der Lampe saubere, trockene Luft fließt, damit die Leistung konstant bleibt und keine Abweichungen entstehen. Nach dem Austausch der Lampe ist eine kurze Anlaufzeit zu erwarten. Zudem sollten regelmäßige Kalibrierungen durchgeführt werden, damit die gewünschte Konstanz erhalten bleibt.