Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen – und heizen Sie stattdessen die Wafer!
Haben Sie schon einmal versucht, an ein Halbleitergerät heranzukommen, und dabei eine Welle der Wärme gespürt? Das ist wirklich schrecklich. Herkömmliche IR-Lampen strahlen die Wärme überallhin ab. In einem engen Raum springt diese Energie hin und her und heizt dabei die innenliegenden Wände auf.
Bald schon müssen Sie mit beschädigten Geräten umgehen – oder noch schlimmer: Ein Techniker kann sich verbrühen. Das ist echt ein Albtraum.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden wellenlängengezieltes Infrarotlicht ohne Ozon.
Wie es funktioniert
Die meisten Kurzwellenlampen sind im Grunde genommen Glühbirnen in verstärkter Form – sie strahlen Energie in alle Richtungen ab. Wir machen das anders: Durch den Einsatz spezieller Quarzkohärenzen sowie durch Anpassungen an der Geometrie des Reflektors konzentrieren wir den Lichtstrahl gezielt. Stellen Sie sich das wie den Wechsel von einer Flutlampe zu einer Taschenlampe vor. Anstatt die gesamte Außenhülle der Maschine zu erhitzen, gelangt die Energie direkt auf das Wafer oder Substrat.
Das Ozonproblem
Bei herkömmlichen Kurzwellenlampen entsteht UV-Strahlung. In einem geschlossenen System trifft diese Strahlung auf Sauerstoff und führt zur Bildung von Ozon. Wenn Sie schon einmal damit zu tun hatten, wissen Sie, was passiert: Ozon zerstört empfindliche Komponenten und löst Sicherheitsalarmanlagen aus, die alles abschalten. Um das zu vermeiden, verwenden unsere Lampen eine spezielle Quarzhülle, die die UV-Wellenlängen filtert. Kein Ozon, keine Korrosion, keine störenden Alarmanlagen.
Ein kleiner Tipp: Wenn Sie eine Leistungsstarke Lampe verwenden, achten Sie darauf, dass die Kühlsysteme richtig eingestellt sind. Da wir die gesamte Energie in einer kleinen Zone konzentrieren, müssen die Lüfter perfekt positioniert sein. Andernfalls können die Enden der Lampen beschädigt werden.
Warum das Ihr Leben erleichtert
Wenn Sie den „heißen Wandeffekt“ beseitigen, ändert sich alles. Sie müssen keine dicken Wärmedämmungen mehr an den Innenseiten der Wände verwenden – dadurch kann die Maschine kleiner und kompakter sein. Zudem müssen Ihre Mitarbeiter keine Angst mehr haben, das Gerät während der Wartung anzufassen.
Außerdem geht es schneller: Da nicht mehr Energie dafür verschwendet wird, die Luft sowie den Metallkasten um das Bauteil zu erhitzen, erreicht das Material viel schneller die gewünschte Temperatur. Auch der Stromverbrauch pro Zyklus sinkt.
Ein Hinweis: Überprüfen Sie unbedingt, ob Ihre Stromversorgung die Spannungsspitzen bewältigen kann, wenn die Lampen zum ersten Mal eingeschaltet werden. Sobald die Lampen funktionieren, ist alles in Ordnung.