Hören Sie auf, Energie in Ihren Halbleiterwerkzeugen zu verschwenden!
Das Problem mit herkömmlichen Infrarotlampen ist, dass sie Wärme in alle Richtungen abgeben. Wenn man diese Lampen in einen engen Gehäuseraum steckt, wird diese „360-Grad-Wärmeabgabe“ zu einem echten Problem.
Die Wärme trifft die Innenseiten des Gehäuses und verwandelt das Gehäuse in eine Art Radiator. Das stört nicht nur die inneren Temperaturen, sondern macht außerdem die Außenseite der Maschine zu einer Gefahr für diejenigen, die sie berühren müssen.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen in Kombination mit hochreflektierenden Goldbeschichtungen.
Warum Gold?
Es klingt vielleicht luxuriös, aber es handelt sich dabei um ganz einfache physikalische Prinzipien. Gold reflektiert Infrarotstrahlung viel besser als Aluminium oder poliertes Stahl.
Durch den Einsatz eines mit Gold überzogenen Reflektors können wir die Richtung der Wärmeverteilung ändern. Anstelle dessen, dass die Hälfte der Energie in die Luft und ins Gehäuse entweicht, wird die Wärme in einen konzentrierten Strahl geleitet – direkt auf die Wafer oder Komponenten, wo sie hingehört.
Das Ergebnis: Man erhält intense Wärme genau dort, wo sie benötigt wird, während die Wände des Gehäuses kühl bleiben.
Die Nachteile (denn nichts ist perfekt)
Da die Wärme so konzentriert wird, kann man normalerweise die Gesamtleistung der Lampe verringern, ohne dadurch die gewünschte Temperatur zu erreichen. Das ist ein Vorteil.
Aber es gibt auch Nachteile. Gold ist empfindlich – wenn Öl oder chemische Dämpfe auf der Oberfläche anhaften, nimmt die Reflexionsfähigkeit ab. Plötzlich beginnen die Wände des Gehäuses wieder zu heizen. Um alles stabil zu halten, ist eine regelmäßige Reinigung notwendig – oder es muss ein Quarzschild verwendet werden, um Schmutz fernzuhalten.
Schutz für die Menschen
Der Verzicht auf „verschwende Wärme“ bedeutet nicht nur, etwas Geld bei den Stromkosten zu sparen. Es geht auch darum, die Personen zu schützen, die neben der Maschine arbeiten.
Indem man verhindert, dass die Wärme in das Gehäuse eindringt, reduziert man das Risiko von Verbrennungen beim Wartungsarbeiten. Zudem kann man die Prozesstemperaturen erhöhen, ohne enorme Kühlfans oder komplexe Flüssigkeitskühlungssysteme benötigen zu müssen.
Es ist einfach eine effektivere und sauberere Art, mit der thermischen Belastung umzugehen.