Hãy ngừng lãng phí năng lượng trong quá trình xử lý wafer
Khi xử lý wafer, người ta thường nghĩ rằng càng sử dụng nhiều công suất thì kết quả càng tốt. Nhưng thực tế thì việc sử dụng nhiều công suất hơn cũng chẳng giúp ích gì nếu năng lượng đó không thể tiếp xúc được với wafer.
Hãy tưởng tượng về một chiếc bóng đèn thạch anh thông thường: nó phát ra nhiệt ở mọi hướng – 360 độ. Nếu bạn không có cách nào để thu hồi năng lượng đó, thì bạn đang lãng phí một nửa lượng điện năng dùng để làm nóng khung máy. Điều này rõ ràng là lãng phí thời gian và tiền bạc.
Tại sao lại chọn vàng?
Chúng tôi sử dụng lớp mạ vàng có độ tinh khiết cao để ngăn chặn sự tổn thất năng lượng. Có lẽ bạn sẽ tự hỏi tại sao không dùng nhôm hoặc thép được mài nhẵn thay thế. Đơn giản thôi: vàng có khả năng phản chiếu ánh sáng hồng ngoại tốt hơn nhiều. Bằng cách đặt một lớp vàng mỏng phía sau bóng đèn, chúng ta có thể thu hồi lại những photon di chuyển ngược lại và hướng chúng trực tiếp vào wafer. Nhờ vậy, nhiệt lượng được tập trung vào wafer một cách hiệu quả hơn, trong khi chi phí điện vẫn không thay đổi.
Những hạn chế
Dù vậy, đây cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Vẫn còn những hạn chế. Vì năng lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, nên các điện cực của bóng đèn và lớp vỏ thạch anh sẽ bị nóng lên. Nếu quạt làm mát không hoạt động tốt, các bộ phận này sẽ bị hư hỏng sớm hơn dự kiến.
Lợi ích
Điều tốt là những bóng đèn này được thiết kế để thay thế trực tiếp cho các bóng đèn cũ. Bạn không cần phải tái lắp đặt toàn bộ hệ thống. Chúng tôi dành nhiều thời gian để tối ưu hóa cấu trúc lớp vàng, sao cho nhiệt lượng được tập trung chính xác vào trục Z của wafer. Một mẹo nhỏ: khi lắp đặt, hãy kiểm tra kỹ xem nguồn điện có đủ khả năng cung cấp dòng điện phù hợp với các bóng đèn này hay không. Bạn không muốn gặp tình trạng sụt áp điện đâu.
Nếu làm đúng cách, mọi watt năng lượng đều được sử dụng để xử lý wafer – chứ không bị lãng phí vào việc làm nóng không khí trong phòng sạch.