Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, mức dao động nhiệt độ 0,3°C trong quá trình nung ướt có thể khiến giá trị điện áp cần thiết để xử lý wafer vượt ra ngoài giới hạn cho phép, từ đó làm hỏng toàn bộ sản phẩm. Bạn không cần thêm bất kỳ yếu tố nào khác vào quy trình kiểm soát nhiệt độ nữa. Lò nung loại này được thiết kế để loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại bước sóng ngắn, có khả năng phản ứng nhanh và kiểm soát phổ tia chính xác, phù hợp với đặc tính hấp thụ ánh sáng của các lớp phim quang học tiêu chuẩn. Trong suốt quy trình xử lý, độ đồng đều của nhiệt độ trên từng wafer duy trì ở mức ±0,1°C; đồng thời, tính lặp lại của quy trình nung cũng rất cao.
Thân lò được thiết kế để hoạt động trong môi trường phòng sạch cấp độ 1–100: vật liệu ít phát khí, bề mặt nhẵn, và đường dẫn khí được thiết kế sao cho không có hạt bụi nào có thể xuất hiện. Việc loại bỏ hoàn toàn hạt bụi không chỉ là một khẩu hiệu quảng cáo – đó là một yêu cầu bắt buộc trong thiết kế lò, và điều này được xác nhận thông qua việc giám sát.
Tại sao nó phù hợp với môi trường sản xuất
Đây chính là nơi mà quy trình xử lý phim quang học diễn ra: khâu in ấn, nung ướt, nung cứng, và các bước xử lý khác. Tia hồng ngoại giúp tạo ra môi trường nhiệt độ phù hợp cho quy trình sản xuất với tốc độ cao; đồng thời, thiết kế phù hợp với môi trường phòng sạch giúp kiểm soát chất lượng sản phẩm một cách tốt nhất.
Kết quả là số lượng wafer bị hỏng giảm, các kích thước quan trọng của wafer được duy trì ổn định, và thời gian xử lý cũng được kiểm soát chính xác. Ngoài ra, mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm đi – lò có thể đạt đến nhiệt độ cần thiết một cách nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó mà không bị vượt quá giới hạn.
Những điều bạn cần biết trước khi sử dụng
Lò này có thể được lắp đặt vào các lò nung tiêu chuẩn, nhưng khối lượng nhiệt của buồng lò và cách sắp xếp các thành phần bên trong vẫn ảnh hưởng đến độ đồng đều của nhiệt độ. Bạn cần xác định chính xác số lượng wafer cần xử lý, và kiểm tra lại đường dẫn khí trong quá trình lắp đặt.
Trong không gian hạn chế, việc sắp xếp các bộ phát tia hồng ngoại có thể đòi hỏi phải điều chỉnh lại vị trí các bộ phận trong khu vực nung. Chúng tôi sẽ cung cấp thông tin về các điều kiện hoạt động ngay từ đầu, để lò có thể phù hợp với quy trình sản xuất – chứ không phải ngược lại.