Trong quy trình sản xuất, bước nung ở nhiệt độ thấp không phải là bước chuẩn bị đơn thuần. Đây chính là bước mà độ dày của các lớp vật liệu và tỷ lệ sản phẩm đạt tiêu chuẩn được xác định rõ ràng lần đầu. Chỉ cần sự thay đổi nhiệt độ vài độ thôi cũng có thể ảnh hưởng đến việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer, làm thay đổi hình dạng của các bức tường bao quanh wafer, và khiến những wafer đã vượt qua các bước kiểm tra ban đầu bị hỏng. Chúng tôi đã thiết kế những bóng đèn nung bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những yếu tố gây biến động này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Chúng tôi sử dụng các bóng đèn phát tia hồng ngoại tần số thấp để làm nóng wafer một cách nhanh chóng và trực tiếp. Hệ thống điều khiển nhiệt độ giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C. Cấu trúc cửa sổ thủy tinh và bộ phản xạ giúp duy trì sự ổn định của nhiệt độ, nhờ đó mỗi wafer đều nhận được lượng nhiệt tương đương nhau, ngay cả trong các lô sản xuất liên tiếp. Toàn bộ hệ thống được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch, với việc sử dụng các vật liệu ít phát khí và cấu trúc thiết kế giúp giảm thiểu việc tạo ra các hạt bẩn.
Tại sao nó lại hiệu quả trong các quy trình sản xuất thực tế? Bóng đèn này có thể được sử dụng ngay trong cùng quy trình sản xuất với các thiết bị khác, nhờ đó việc nung wafer diễn ra một cách ổn định – không có sự sai lệch về nhiệt độ. Nó có thể thực hiện các công việc như làm khô wafer, xử lý lớp phủ quang học, và làm khô wafer sau khi vệ sinh. Trên các dây chuyền đóng gói, nó giúp kiểm soát quá trình đông cứng vật liệu một cách chính xác. Kết quả là số lượng sản phẩm cần sửa chữa giảm, độ đồng đều của các thông số kỹ thuật được duy trì tốt, và thời gian sản xuất cũng được kiểm soát chặt chẽ. Ngoài ra, việc sử dụng bóng đèn này còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì nó có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh chóng và duy trì nhiệt độ đó mà không cần phải điều chỉnh liên tục.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Việc lắp đặt bóng đèn này đòi hỏi phải phù hợp với giao diện kết nối của thiết bị – loại konektor và khoảng cách giữa các bộ phận. Bóng đèn này có thể hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100, nhưng nó cần có luồng khí sạch và khô để duy trì độ ổn định của nhiệt độ. Sau khi thay thế bóng đèn, cần có thời gian để bóng đèn hoạt động ổn định trở lại, đồng thời cần tiến hành điều chỉnh định kỳ để đảm bảo độ đồng đều của nhiệt độ.