Trong quy trình in ấn bằng kỹ thuật litography, sự chênh lệch nhiệt độ 1°C trong quá trình làm nóng vật liệu photoresist không phải là con số nhỏ chút nào. Đó chính là nguyên nhân gây giảm hiệu suất sản xuất. Các tấm wafer có yêu cầu rất cao về mức độ ổn định nhiệt độ; nếu thiết bị sưởi trong buồng sản xuất không thể duy trì được mức nhiệt độ ổn định và sạch sẽ, thì sẽ dẫn đến các lỗi trong quy trình sản xuất. Chúng tôi đã thiết kế thiết bị sưởi này sao cho phù hợp với điều kiện thực tế trong buồng sản xuất: độ ổn định nhiệt độ phải theo đúng quy trình yêu cầu, chứ không phụ thuộc vào nhiệt độ trong phòng.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Thiết bị này hoạt động nhờ các nguyên lý phát sóng hồng ngoại tần số cao, nằm trong vỏ bằng thạch anh. Nhờ đó, thiết bị có khả năng phản ứng nhanh và ít có độ trễ nhiệt. Mức độ ổn định nhiệt độ trong suốt quá trình sưởi dao động trong khoảng ±0,1°C. Độ lặp lại của quá trình sưởi cũng rất cao, giúp tránh các sai số khi thực hiện các bước sưởi khác nhau. Các yêu cầu về môi trường sạch được đáp ứng nhờ việc sử dụng vật liệu phù hợp với tiêu chuẩn Class 1–100, cùng cấu trúc thiết kế giúp giảm lượng khí thải và ngăn ngừa sự hình thành các hạt bụi. Thiết bị này được kết nối với hệ thống điều khiển của buồng sản xuất thông qua các đầu nối tiêu chuẩn, giúp duy trì mức nhiệt độ ổn định suốt 24/7, từ đó giảm thiểu sự chênh lệch nhiệt độ và bảo vệ quy trình sản xuất.
Tại sao thiết bị này vẫn hoạt động tốt trong buồng sản xuất
Trong buồng sản xuất, thiết bị sưởi giúp duy trì nhiệt độ cần thiết cho vật liệu photoresist và các vật liệu liên quan. Điều này giúp rút ngắn thời gian chờ đợi, kiểm soát chính xác các thông số kỹ thuật quan trọng, và giảm lượng vật liệu thừa phát sinh do sự chênh lệch nhiệt độ. Việc sử dụng năng lượng cũng được kiểm soát tốt, vì thiết bị có khả năng đạt mức nhiệt độ mong muốn nhanh chóng và duy trì mức nhiệt đó mà không gây ra sự chênh lệch quá mức. Điều này giúp giảm áp lực lên hệ thống cung cấp năng lượng và toàn bộ cơ sở sản xuất. Độ tin cậy của thiết bị thể hiện qua tỷ lệ thời gian hoạt động ổn định: ít sự gián đoạn, ít việc bảo trì, và tỷ lệ wafer được sản xuất ổn định.
Những chi tiết kỹ thuật cần lưu ý
Khi lắp đặt, cần phải đảm bảo rằng dòng khí trong buồng sản xuất được điều chỉnh phù hợp. Thiết bị sẽ hoạt động tốt khi dòng khí được điều chỉnh hợp lý. Thiết bị này có thể hoạt động với hầu hết các loại buồng sản xuất, nhưng nếu bạn sử dụng hệ thống điều khiển cũ, bạn cần kiểm tra kỹ phần kết nối trước khi lắp đặt. Bạn cần dành thêm một ngày để điều chỉnh các thông số PID của thiết bị. Sau đó, quy trình sản xuất sẽ diễn ra ổn định như mong muốn.