Hoe je je cleanroom op klasse 100 echt schoon houdt
Wanneer je wafers verwerkt, is zelfs één stofdeeltje geen klein probleem – het is een ramp. Het kan de kwaliteit van de producten ernstig beïnvloeden. Het probleem is dat de meeste standaardverwarmingselementen ‘vies’ zijn. Ze geven gassen af of scheiden kleine deeltjes af, precies op het moment dat ze juist onzichtbaar moeten blijven.
Daarom hebben we gekozen voor synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor onze IR-lampen. Dit werkt gewoon beter.
Waarom kwarts belangrijk is
We gebruiken gesmolten silica met bijna geen onzuiverheden. Als je ooit lagere kwaliteit kwarts hebt gebruikt, weet je hoe dit materiaal ‘wazig’ wordt of begint te breken wanneer het heet wordt. Ons kwarts doet dat niet. Het is chemisch inert, waardoor het niet reageert met de lucht en geen deeltjes op de wafers achterlaat.
Bovendien werken deze lampen met kortegolflengte-IR-straling. De hitte bereikt de oppervlak van de wafel snel. Omdat het substraat niet lang onder hoge temperaturen komt te staan, hoef je je minder zorgen te maken over thermische spanningen of dat de wafel vervormt. Het is snel en efficiënt.
Het voorkomen van lekken
Meestal vindt de contaminatie niet middenin de lamp plaats, maar aan de uiteinden. We hebben dit opgelost door gebruik te maken van speciale sluitingen en hoogwaardige elektroden. Er gaan geen metallische dampen vrij tijdens het opwarmproces.
We hebben ook de behuizing zo vormgegeven dat deze de laminaire luchtstroming in de cleanroom niet verstoorde. Je wilt immers geen turbulentie die stofdeeltjes veroorzaakt.
Een tip: houd goed in de gaten wat de vermogensdichtheid is. Deze lampen bereiken snel de gewenste temperatuur, maar dat betekent ook veel hitte. Zorg ervoor dat je bescherming op de juiste manier is geconfigureerd. Als de behuizing niet goed geventileerd is, zal de hitte zich verspreiden en kunnen de sensoren verkeerde waarden geven.
Hoe je ze in je productielijn kunt integreren
Je hoeft je hele productielijn niet opnieuw te ontwerpen. We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk als vervanging kunnen worden gebruikt voor de bestaande verwarmeren.
Het enige nadeel? Je moet ze zorgvuldig behandelen. Echt waar. Zelfs één vingerafdruk op het kwarts kan al tot problemen leiden. Houd ze dus schoon, dan blijven ze duizenden cycli lang dezelfde prestaties leveren.