Stop met het verhitten van uw apparatuur: een slimme manier om MEMS-wafers te drogen
Wanneer u MEMS-sensorwafers droogt, wilt u dat al het vocht verdwijnt. Punt uit. Het probleem is echter dat de meeste mensen proberen dit te bereiken door alles in de buurt op te warmen.
Traditionele convectie- of omnidirectionele verwarming verandert uw dure halfgeleiderapparatuur eigenlijk in een enorme oven. De binnenzijden van de wanden nemen al die hitte op, wat een nachtmerrie is. U krijgt ‘ hete wanden ’ die een operator kunnen verbranden of de interne afsluitingen beschadigen. Het is een chaos.
Wij hebben een betere manier gevonden: gerichte infrarode (IR) verwarming.
Hoe het werkt
Stel je het voor als een zaklamp, maar dan met warmte. In plaats van de lucht op te warmen in de hoop dat de wafer ook heet wordt, stralen IR-lampen elektromagnetische straling rechtstreeks op het waferoppervlak.
Door de juiste golflengten te kiezen – meestal kort of middellang golf – raakt de energie de wafer en het vochtige residu, en blijft daar. Hij verspreidt zich niet om de rest van het apparaat op te warmen. We gebruiken kwartsomhulsels en reflectoren om het straalveld strak en gefocust te houden. De hitte gaat precies waar ze nodig is en nergens anders heen.
Het lastige gedeelte (de afwegingen)
Hier zit het probleem: om de wafers snel droog te krijgen, heeft u veel vermogen nodig in een zeer kleine ruimte. Een hoge thermische dichtheid is goed om de cyclus te versnellen, maar dit heeft zijn prijs.
Die lampen met hoge vermogens worden extreem heet aan de terminalen. Als u ze gewoon aansluit zonder te controleren of uw bedrading en connectors de werkelijke stroomsterkte aankunnen, smelten uw aansluitpunten. Dat is een veelvoorkomende fout.
Ook al is het straalveld gericht, u moet uw koelventilatoren nog steeds zo positioneren dat ze de hitte weghalen van de uiteinden van de lampen. Vergeet dit onderdeel niet.
Een veiliger omgeving voor uw team
Het beste van alles? U komt van dat ‘oven-effect’ in de kamer af.
Omdat de wanden geen overtollige hitte opnemen, blijft de buitenkant van de machine koel aan het aanraken. U hoeft geen zware thermische bescherming toe te passen of zich zorgen te maken dat uw technici verbranden wanneer ze erin gaan voor onderhoud.
Het is een simpele verandering in denkwijze. Verwarm niet de hele ruimte. Verwarm alleen het gewenste deel.