Op de lijn ligt die 300 mm wafer te wachten op de soft bake die jouw lijnbreedteregeling vastlegt. Een afwijking van 2°C in het hotplate-profiel? Dat is genoeg om de kritische dimensie met meer dan 1 nm te verplaatsen, en elke cyclus die afwijkt is weer een batch die richting de afvalstapel gaat. We hebben onze temperatuursonde voor wafers precies voor deze omgeving ontworpen, waar het thermische budget geen aanbeveling is, maar een harde grens.
Wat er onder de motorkap telt
Je krijgt ±0,1°C stabiliteit over het volledige bake-venster van 200–250°C, met kalibratie die traceerbaar is naar NIST. De responstijd is minder dan 150 ms, zodat gesloten-lusregeling setpointverschuivingen kan opvangen voordat de fotoresist begint te driften. De sondelichaam is van kwarts en roestvrij staal, afgedicht met een epoxy met lage uitgassing, en is geschikt voor Class 1–100 cleanrooms met deeltjesgeneratie onder 0,1 deeltje/cm². De uitgang is 4–20 mA met RS-485 en Modbus RTU, en de 1/4-20 schroefdraadmontage past rechtstreeks in standaard hotplates van wafertooling—adapterplaten zijn niet nodig.
Waarom het standhoudt in de fab.
Fotoresistverwerking vergeeft geen onnauwkeurige temperatuurregeling. Soft bake verwijdert oplosmiddel en stelt filmbelasting in; hard bake fixeert het patroon vóór het etsen. Met deze sensor behoud je uniformiteit over de wafer en herhaalbaarheid van batch tot batch, zodat CD-gemiddelde en standaarddeviatie binnen specificatie blijven. Het resultaat is minder herbewerkingen, stabiele opbrengst en onderhoudsintervallen die gepland kunnen worden. Je bespaart ook energie, omdat strakke regeling overshoot voorkomt en compenseert voor lijnspanningsschommelingen zonder oververhitting.
Een paar praktische opmerkingen voordat je het inzet.
Gebruik een geaard, afgeschermd kabel en hou de sensor geïsoleerd van EMI in de buurt van plasmakamers. Plan een 2-punts veldkalibratie bij het gereedschap, met je eigen referentiethermokoppel, om de absolute waarde af te stellen. In gebieden met hoge luchtvochtigheid kan condensvorming op de probe optreden—voeg dan de stikstofspoel fitting toe.
Kortom: als temperatuur schoon en correct wordt gemeten, blijft het proces onder controle.