Obtenir la température idéale pour la wafer
Lorsque vous travaillez avec des lampes infrarouges dans une salle propre, l’objectif est simple : faire en sorte que la chaleur atteigne précisément l’endroit où elle est nécessaire. Vous ne voulez pas gaspiller d’énergie, et vous ne voulez certainement pas endommager l’environnement dans lequel vous travaillez. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or. Cela permet aux rayons infrarouges de frapper directement la wafer, plutôt que de simplement chauffer inutilement le boîtier de la lampe.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens utilisent des réflecteurs en aluminium, mais l’aluminium absorbe en réalité une partie du spectre infrarouge. L’or, quant à lui, est extrêmement réfléchissant dans cette gamme de longueurs d’onde. Cela signifie que la chaleur est transmise plus efficacement vers la wafer.
Chaque watt d’électricité consommé est donc utilisé efficacement pour chauffer la surface de la wafer. C’est donc beaucoup plus efficace.
Moins de chaleur, moins de stress
Lorsque vous choisissez ces lampes, vous prenez en compte surtout leur densité énergétique. Comme la couche d’or est très efficace, il est possible d’atteindre les températures souhaitées sans augmenter l’intensité de la lumière.
C’est un grand avantage pour votre système de ventilation. Votre salle propre reste plus fraîche, car les lampes ne libèrent pas trop de chaleur dans l’air. Ainsi, toute la pièce ne ressemble plus à un four.
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent remplacer facilement vos anciennes lampes. Mais attention : comme elles sont bien plus efficaces, vos wafers se chaufferont plus rapidement que d’habitude. Il faudra donc ajuster vos contrôleurs PID afin d’éviter que la température ne dépasse les limites désirées.
Maintenir tout propre
Comme ces lampes se trouvent dans une salle propre, nous avons éliminé tous les matériaux qui pourraient provoquer des émissions de gaz. Nous ne voulons pas que des contaminants endommagent vos wafers. De plus, nous scellons la couche d’or pour éviter qu’elle ne s’oxyde.
Faites attention à ces lampes. Si leur revêtement est abîmé ou si de l’huile s’y accumule, vous verrez des fluctuations de température sur la wafer.
Restez donc vigilant et utilisez uniquement des solvants approuvés. Vous ne voulez pas risquer de détruire la couche d’or.