Arrêter les pertes d’énergie lors du rinçage des wafer en semi-conducteurs
Ayons été honnêtes : c’est généralement pendant l’étape de rinçage que l’énergie est gaspillée dans les usines de semi-conducteurs. Depuis des années, on utilise de grandes quantités d’air chaud ou la convection pour sécher les wafer. Cela prend du temps, c’est inefficace, et cela entraîne une consommation énergétique incroyablement élevée, alors que l’air chauffé finit presque toujours par disparaître sans servir à rien.
Nous avons trouvé une meilleure solution. Au lieu de chauffer toute la pièce, nous utilisons des lampes infrarouges étanches pour cibler directement l’humidité présente sur la surface des wafer. C’est une approche bien plus efficace.
Gérer l’humidité
Travailler dans une zone à haute humidité représente un véritable cauchemar pour les équipements électroniques. Si une seule goutte d’eau touche un filament chaud, la lampe est détruite. Point final.
C’est pourquoi nous accordons une grande importance aux systèmes d’étanchéité. Nous utilisons des enveloppes en quartz résistant à la corrosion ainsi que des systèmes d’étanchéité hermétiques pour empêcher l’humidité d’atteindre les électrodes. Il s’agit donc de maintenir les composants internes de la lampe complètement secs, alors que l’environnement autour d’elle est extrêmement humide.
Le meilleur aspect ? Ces lampes se mettent en marche très rapidement, en quelques secondes seulement. Vous n’avez pas besoin de les laisser fonctionner à pleine puissance en attendant le prochain lot de wafer. Une fois qu’elles atteignent la température souhaitée, vous pouvez passer à autre chose. Votre facture d’électricité vous remerciera.
Conçues pour être utilisées dans des conditions réelles
L’étanchéité ne concerne pas seulement le verre. En raison de l’humidité et des produits chimiques utilisés lors du rinçage, les boîtiers subissent beaucoup de dommages. Nous utilisons donc des matériaux résistants à la corrosion afin que les équipements ne se détériorent pas après quelques mois d’utilisation intensive.
Si vous utilisez un équipement plus ancien, ces lampes peuvent simplement remplacer les anciennes. Il suffit de remplacer les anciens systèmes de chauffage par ceux-ci, et tout fonctionnera correctement.
De plus, il y a un autre avantage : pas de turbulences d’air. Comme les lampes infrarouges utilisent des rayonnements plutôt que de l’air, il n’y a aucun risque que des particules viennent contaminer les wafer. C’est donc plus silencieux et plus propre.
Le problème : gérer la chaleur
Voilà le problème : les lampes infrarouges à haute densité deviennent très chaudes. Vraiment très chaudes. Alors que les wafer sèchent en un instant, le châssis qui les entoure subit tout le poids de cette énergie thermique. Si vous négligez les ventilateurs ou les dissipateurs de chaleur, vos composants électroniques vont se détériorer. C’est un compromis simple : vous économisez beaucoup d’énergie en termes de séchage, mais vous devez absolument assurer un bon flux d’air pour éviter que vos câbles ne se brûlent.
Mais une fois que vous avez trouvé cet équilibre, vous pouvez abandonner complètement ces gros ventilateurs gourmands en énergie. C’est probablement le moyen le plus rapide de rendre une usine de semi-conducteurs plus écologique, sans sacrifier la vitesse.