حفظ تمیزی اتاقهای پاک در سطح ۱۰۰
هنگام فرآوری ویفرها، حتی یک ذره گرد و غبار نیز میتواند مشکلات جدی ایجاد کند؛ زیرا باعث کاهش بازدهی فرآیند میشود. مشکل اینجاست که اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، «کثیف» هستند؛ آنها در لحظاتی که باید کاملاً بیخدشه باشند، گازهایی را آزاد میکنند یا ذرات کوچکی را تولید میکنند.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای IR خود استفاده کردیم؛ زیرا این روش بهتر عمل میکند.
چرا کوارتز مهم است؟
ما از سیلیکا فرآوریشده با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم. اگر تا به حال از کوارتز با کیفیت پایینتر استفاده کرده باشید، میدانید که چگونه در دماهای بالا کدر میشود یا تجزیه میگردد. کوارتزی که ما استفاده میکنیم چنین وضعیتی ندارد؛ زیرا از نظر شیمیایی بیتغییر است و با هوا واکنش نمیدهد و ذراتی روی ویفر تولید نمیکند.
علاوه بر این، این لامپها از امواج مادون قرمز کوتاهموج استفاده میکنند؛ بنابراین گرما به سرعت به سطح ویفر میرسد. از آنجایی که سطح ویفر مدت طولانی در معرض گرما قرار نمیگیرد، نیازی به نگرانی درباره استرس حرارتی یا تغییر شکل ویفر نیست. این روش سریع و کارآمد است.
جلوگیری از نشت گرما
بیشتر آلودگیها در انتهای لامپها ایجاد میشوند؛ ما این مشکل را با استفاده از درپوشهای ویژه و الکترودهای با کیفیت بالا برطرف کردیم. هیچ گاز فلزی در حین کار لامپها آزاد نمیشود.
همچنین، ما شکل بدنه لامپها را به گونهای طراحی کردیم که مانع جریان هوای تمیز در اتاق پاک شود؛ زیرا نمیخواهیم جریان هوای ناپایدار باعث ایجاد گرد و غبار شود.
یک نکته مهم: باید مراقب تراکم انرژی لامپها باشید؛ این لامپها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند، اما این امر منجر به تولید گرمای زیادی میشود. مطمئن شوید که سیستم خنککننده لامپها به درستی کار میکند؛ در غیر این صورت، گرما در تمام اجزای لامپ نفوذ کرده و ارزیابیهای سنسورها را مختل خواهد کرد.
نصب لامپها در سیستم شما
نیازی نیست کل سیستم فرآوری خود را دوباره طراحی کنید؛ ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین لامپهای موجود کرد.
تنها مشکل این است که باید در نحوه استفاده از آنها بسیار دقت کنید؛ حتی یک اثر انگشت روی سطح کوارتز میتواند باعث ایجاد نقاط گرم شود و در نتیجه لامپ زودتر خراب شود.
اگر آنها را تمیز نگه دارید، میتوانند هزاران بار به خوبی کار کنند.