دیگر نیازی نیست تجهیزاتتان را گرم کنید؛ روشی هوشمندانه برای خشک کردن ویفرهای MEMS
وقتی که میخواهید ویفرهای سنسورهای MEMS را خشک کنید، هدف شما این است که رطوبت از بین برود. اما مشکل اینجاست که اکثر افراد سعی میکنند این کار را با گرم کردن تمام قسمتهای تجهیزات انجام دهند.
روش گرمایش معمولی، تجهیزات گرانقیمت نیمههادی را به یک فر بزرگ تبدیل میکند. دیوارههای داخلی، تمام گرمای تولید شده را جذب میکنند؛ این موضوع واقعاً مشکلساز است. در نتیجه، دیوارهها بسیار داغ میشوند و میتوانند به عملکرد تجهیزات آسیب برسانند.
ما روش بهتری پیدا کردهایم: گرمایش با امواج مادون قرمز.
چگونه کار میکند؟
میتوانید آن را مانند یک فلاش لامپ در نظر بگیرید، اما با گرما. به جای گرم کردن هوا و امیدواری به گرم شدن ویفر، لامپهای مادون قرمز، تشعشعات الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت سطح ویفر ارسال میکنند.
با انتخاب طول موج مناسب، انرژی در سطح ویفر متوقف میشود و به سمت سایر قسمتهای تجهیزات سرایت نمیکند. ما از پوششهای کوارتزی و بازتابندهها برای حفظ تمرکز این تشعشعات استفاده میکنیم؛ بنابراین گرما دقیقاً به جایی که لازم است، میرود.
مشکلات مربوط به این روش
مشکل اینجاست که برای خشک کردن سریع ویفرها، نیاز به مقدار زیادی انرژی در فضای بسیار کوچکی وجود دارد. چگالی حرارتی بالا، میتواند سرعت فرآیند خشک کردن را افزایش دهد، اما این کار هزینههایی دارد.
لامپهایی که توان بالایی دارند، در نوکهایشان بسیار داغ میشوند. اگر آنها را بدون بررسی اینکه سیمها و کانکتورها میتوانند جریان لازم را تحمل کنند، وصل کنید، سوکتها ذوب خواهند شد. این یک اشتباه رایج است.
حتی با وجود اینکه تشعشعات مادون قرمز در جهت مشخصی حرکت میکنند، باز هم باید فنهای خنککننده را در جای مناسب قرار دهید تا گرما را از نوکهای لامپها دور کنند. این مرحله را فراموش نکنید.
مزایای این روش برای تیم شما
بهترین مزیت این روش این است که دیگر نیازی به ایجاد «اثر فر» در داخل ماشین نیست. از آنجایی که دیوارهها گرمای اضافی را جذب نمیکنند، سطح خارجی ماشین همچنان خنک باقی میماند. دیگر نیازی نیست از سیستمهای حفاظتی حرارتی استفاده کنید یا نگران آسیب دیدن تکنسینها هنگام تعمیرات باشید.
این یک تغییر ساده در روش فکر کردن است؛ دیگر نیازی نیست کل اتاق را گرم کنید، فقط بخش مورد نظر را گرم کنید.