تنظیم دقیق دمای ویفر
وقتی که از لامپهای مادون قرمز در اتاقهای پاکسازی شده استفاده میکنید، هدف ساده است: دما را دقیقاً در جایی که لازم است، تنظیم کرد. نمیخواهید انرژی را هدر دهید، و قطعاً نمیخواهید محیط اطراف را خراب کنید. به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم؛ این بازتابندهها باعث میشوند تابش مادون قرمز دقیقاً بر روی ویفر بتابد، و نه فقط بدنه لامپ را گرم کند.
چرا طلا؟
اکثر مردم از بازتابندههای آلومینیومی استفاده میکنند، اما آلومینیوم در واقع بخشی از تابش مادون قرمز را جذب میکند. طلا متفاوت است؛ این فلز در محدوده مادون قرمز، بازتاب بسیار خوبی دارد، بنابراین دما را با قدرت بیشتری به سمت ویفر هدایت میکند.
هر وات انرژی که وارد میشود، دقیقاً روی سطح ویفر تأثیر میگذارد؛ این روش بسیار کارآمدتر است.
کمتر گرما، کمتر استرس
وقتی که این لامپها را انتخاب میکنید، در واقع به چگالی انرژی توجه میکنید. از آنجایی که پوشش طلا بسیار مؤثر است، میتوانید دمای مورد نظر را بدون نیاز به افزایش توان لامپ، به دست آورید.
این موضوع برای سیستم تهویه مطبوع شما بسیار مفید است؛ اتاق پاکسازی شده شما خنکتر میماند، زیرا لامپها گرما را در هوا پخش نمیکنند. این کار باعث میشود کل اتاق کمتر شبیه به یک فر شود.
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند به جای لامپهای فعلی شما استفاده شوند. اما توجه داشته باشید: از آنجایی که این لامپها بسیار کارآمدتر هستند، ویفرهای شما سریعتر گرم میشوند. بنابراین باید کنترلکنندههای PID خود را تنظیم کنید تا از صعود بیش از حد دما جلوگیری شود.
حفظ تمیزی
از آنجایی که این لامپها در اتاقهای پاکسازی شده قرار دارند، ما هرگونه مادهای را که ممکن است باعث ایجاد گازهای زائد شود، حذف کردهایم. نمیخواهیم که آلایندهها ویفرهای شما را خراب کنند. همچنین، لایه طلا را نیز مهر و موم کردهایم تا اکسید نشود.
لطفاً مراقب آنها باشید؛ اگر پوشش طلا خراش دیده شود یا روغنی روی آن بریزد، الگوهای گرمایی نامنظمی روی ویفر ایجاد خواهد شد.
لطفاً آنها را تمیز نگه دارید؛ و فقط از حلالهای مجاز استفاده کنید. نمیخواهید که لایه طلا از روی ویفر برداشته شود.