در کف کارخانه، یک پروسه پخت فوتورزیست که حتی ۰.۲ درجه سانتیگراد تغییر کند، میتواند ابعاد بحرانی را تغییر داده و تعداد زیادی از ویفرها را به زباله تبدیل کند. ما هیتر تریلر اتاق تمیز نیمه هادی را برای حذف این تغییرپذیری از معادله طراحی کردیم.
آنچه از نظر فنی مهم است، یکنواختی دما در سراسر بار است—±۰.۱ درجه سانتیگراد—و کنترل تدریجی قابل تکرار برای پروفایلهای پخت نرم و سخت. این هیتر از یک معماری کمحجم و سازگار با اتاق تمیز استفاده میکند که دارای عناصر مهر و موم شده و مواد با درجه HEPA است تا تولید ذرات را به نزدیک صفر برساند. جریان هوا لامینار است، نه تلاطمدار، بنابراین شما ابزارهای لیتوگرافی نزدیک را تکان نمیدهید و خطر آلودگی سطح ویفر را کاهش میدهید. حلقه کنترل بهگونهای تنظیم شده است که سریعاً پس از باز شدن درب پایدار شود، زیرا تغییر خطها منتظر ثبات حرارتی نمیمانند.
این هیتر در تریلر قرار دارد و ویفرها را قبل از تماس با صفحه داغ پیششرطی میکند. این امر به شما یک بودجه حرارتی پایدار برای ورود به مراحل تابش و پخت میدهد، کارهای دوبارهکاری کمتری را نیاز دارد و کنترل ابعاد (CD) دقیقتری را فراهم میکند. سازگاری با اتاق تمیز—مواد و پایانهای با رتبه کلاس ۱ تا ۱۰۰—شمارش ذرات را کاهش میدهد و عملکرد را حفظ میکند. همچنین در مصرف انرژی صرفهجویی میشود، زیرا تریلر گرما را نگه میدارد و به جای تکیه بر فر اصلی برای هر بار گرم کردن، مستقل عمل میکند.
چند نکته عملی. نصب نیاز به یک منبع تغذیه پاک اختصاصی و زمین مناسب دارد تا از ایجاد میکرو لرزش و نویز الکتریکی در حسگر کنترل جلوگیری شود. ابعاد آن جمع و جور است، اما شما باید فاصله کافی را در اطراف مسیرهای جریان هوا حفظ کنید؛ در غیر این صورت یکنواختی دچار مشکل میشود. و برنامهریزی برای کالیبراسیون منظم در سطح تریلر را فراموش نکنید. حتی بهترین هیترها به مرور زمان بدون یک پنجره متروژی تعریفشده دچار تغییر میشوند.