گرمکن ویفر با مصرف انرژی کم
جلوگیری از آسیب به هیترهای ویفرها
در سیستمهایی که با بار بالایی کار میکنند، خراب شدن لامپها یک فاجعه است. مشکل فقط مربوط به توقف عملکرد دستگاه...
فاصله ایمن برای گرم کردن ویفر
چگونه ویفرهای سیلیکونی را بدون ایجاد آلودگی در اتاقهای تمیز گرم کنیم؟
وقتی که در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، حتی یک ذره گرد و غبار نیز...
سنسور مادون قرمز با دقت بالا برای ویفرها
حفظ تمیزی اتاقهای پاک در سطح ۱۰۰
هنگام فرآوری ویفرها، حتی یک ذره گرد و غبار نیز میتواند مشکلات جدی ایجاد کند؛ زیرا باعث کاهش بازدهی فرآیند میشود....
هیتر خشککن ویفر سنسور MEMS
دیگر نیازی نیست تجهیزاتتان را گرم کنید؛ روشی هوشمندانه برای خشک کردن ویفرهای MEMS
وقتی که میخواهید ویفرهای سنسورهای MEMS را خشک کنید، هدف شما این...
عنصر گرمایشی اکسیداسیون وفر
در فرآیند اکسیداسیون، نوسانات تمپراتوری نه تنها باعث کاهش بازدهی میشوند، بلکه میتوانند بازدهی را کاملاً از بین ببرند. تفاوت چند دهم درجه در دمای...
لامپ جایگزین برای خشککن ویفر
در کارخانههای تولید، دستگاه خشککن ویفرها درست بین مسیر چرخش ویفر و صفحه گرم قرار دارد. اگر لامپهای مورد استفاده در این دستگاه دچار اختلال شوند،...
حسگر دما برای ابزار ویفر
روی خط، همان ویفر 300 میلیمتری قرار دارد و منتظر نرمپخت است که کنترل عرض خط شما را تنظیم میکند. یک نوسان 2 درجه سلسیوس در پروفایل صفحه گرمکن؟ این...
لامپ کوارتز مادون قرمز برای ویفر
در سالن لیتوگرافی، یک تغییر دمای 0.3°C در طول پخت فتوریست، میتواند یک فرآیند کنترلشده را به ضایعات تبدیل کند. بودجه حرارتی ویفر قابل مذاکره نیست—یا...
بازتابنده برای لامپ پخت ویفر
در کف کارخانه، پروفیل فوتورزیست در طول مراحل نرمپخت و سختپخت تثبیت میشود. انحراف نیم درجهای دما در سراسر ویفر کافی است تا ابعاد بحرانی تغییر کند،...