چگونه ویفرهای سیلیکونی را بدون ایجاد آلودگی در اتاقهای تمیز گرم کنیم؟
وقتی که در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، حتی یک ذره گرد و غبار نیز میتواند فاجعهبار باشد. اگر قصد گرم کردن ویفرهای سیلیکونی را دارید، نباید اجازه داد که موادی از آنها خارج شوند یا گازهایی وارد هوا شوند. استفاده از عناصر گرمایشی معمولی؟ فراموشش کنید؛ چون آنها ذراتی را به بیرون میفرستند، و در چنین محیطی این روش قابل قبول نیست.
بنابراین، ما از لامپهای مادون قرمز ساخته شده از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم.
راز، در خود کوارتز نهفته است.
ما از سیلیکا ترکیبی با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم. چرا؟ چون وقتی که دما بالا میرود، نمیخواهیم که مواد شیمیایی از آنها خارج شوند. پوشش کوارتز، نقش یک درپوش محکم برای فیلامنت تنگستن را ایفا میکند؛ این پوشش مانع از واکنش فیلامنت با هوا میشود، و در نتیجه هیچ اکسید فلزیای روی ویفر ریخته نمیشود.
اما نکته مهم این است: فاصله مناسب.
اگر لامپ را خیلی نزدیک نصب کنید، ممکن است ویفر آسیب ببیند یا نقاط گرم ایجاد شود. اگر فاصله زیاد باشد، انرژی زیادی برای گرم کردن هوای اتاق صرف میشود. ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این روش بهتر است، چون گرما مستقیماً به ویفر منتقل میشود، نه اینکه کل اتاق گرم شود.
نکاتی که باید در نظر داشت:
این لامپها دارای توان بالایی هستند؛ بنابراین زمان گرم شدن آنها بسیار کوتاه است. اما این موضوع فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد میکند. حتماً سیمها و کانکتورها را بررسی کنید؛ اگر ظرفیت آنها برای توان مورد نیاز کافی نباشد، ممکن است در نهایت خراب شوند.
همچنین، به یاد داشته باشید که کوارتز با خلوص بالا، شکننده است؛ بنابراین نباید آن را به هر شکلی جابجا کرد. اگر در هنگام نصب کار را بیش از حد انجام دهید، ممکن است ترکهای ریزی در آن ایجاد شود. شاید در ابتدا آنها قابل مشاهده نباشند، اما وقتی لامپ شروع به تغییر دما کند، ممکن است کوارتز شکسته شود.
حفظ محیط کاملاً بدون گرد و غبار:
برای اطمینان از عدم وجود هیچ گونه آلودگی، ما تمام مواد آلی موجود در ساختار لامپ را حذف کردیم؛ همه چیز در این لامپ، غیرآلی است.
این موضوع بسیار مهم است؛ یعنی هیچ دوره «سوختن»ی در لامپ وجود ندارد. در اولین باری که لامپ را روشن میکنید، هیچ گونه ترکیبات آلی مضری در اتاق تمیز شما وجود نخواهد داشت.
فقط کافی است لامپ را وصل کنید، فاصله مناسب را تنظیم کنید، و کار شما تمام خواهد شد.