Verhindern Sie, dass Ihre Waferheizer zu einer Quelle von Unordnung werden
In einer Anlage mit hohem Aufkommen an Wafern ist ein defekter Lampenverschluss ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – auch die Reinigung ist ein Problem. Wenn die Quarzkapsel zerbricht, fallen Glassplitter und metallische Stoffe direkt auf die Wafer. Die produzierten Wafer sind dann unbrauchbar, und man muss Stunden damit verbringen, die Kammer zu reinigen.
Wir bauen unsere Heizer so, dass das nicht passiert.
Umgang mit Wärmestress
Die meisten Lampen versagen, weil sie der ständigen Ausdehnung und Zusammenziehung nicht standhalten können. Um das zu vermeiden, verwenden wir hochreinen geschmolzenen Quarz. Er ist sehr widerstandsfähig – er kann den schnellen Wechsel zwischen hohen und niedrigen Temperaturen ohne Risse überstehen.
Außerdem achten wir darauf, dass die Wanddicke genau richtig ist. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewicht: Man möchte, dass die Wärme effizient weitergeleitet wird – doch der Rohr sollte gleichzeitig stark genug sein. Wenn man für ein zu dünnes Rohr eine zu hohe Leistung verwendet, werden die Elektroden beschädigt und die Dichtungen versagen bereits frühzeitig.
Ein Sicherheitsnetz schaffen
Selbst mit dem besten Quarz können Probleme auftreten. Deshalb verlassen wir uns nicht nur auf eine Schutzschicht. Wir verwenden eine zusätzliche Schutzmaßnahme – im Grunde handelt es sich dabei um einen Schutzmantel oder eine spezielle Beschichtung, die den Glühfaden umhüllt. Wenn die innere Röhre platzt, bleiben die Splitter im Mantel gefangen – sie erreichen die Wafer nicht. Das ist wie eine Versicherung für Ihre Reinraumumgebung.
Konstante Stromversorgung
Spannungsspitzen können tödlich sein. Wir haben die Enddichtungen verstärkt und präzise passende Stecker verwendet, damit es an den Kontaktpunkten keine Funkenbildung gibt.
Warum ist das wichtig? Denn lose Verbindungen führen zu Hotspots. Diese Hotspots schwächen den Quarz im Laufe der Zeit – und dort beginnen meist die Risse.
Ehrlich gesagt bedeutet die Ergänzung dieser Schutzschichten, dass es etwas mehr Material zwischen der Wärmequelle und Ihren Wafern gibt. Dadurch wird die Strahlungsintensität etwas geringer sein als bei einer Lampe ohne Schutzschichten.
Möglicherweise müssen Sie die Leistung etwas erhöhen oder die Verweildauer anpassen, damit der Prozess weiterhin reibungslos abläuft. Es handelt sich dabei um einen kleinen Kompromiss – damit Sie niemals Ihren Wochenendausflug damit verbringen müssen, eine kontaminierte Kammer zu reinigen.