Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Halbleitergeräte Wärme verlieren.
Wenn Sie bereits mit hochwertigen Halbleiterwerkzeugen gearbeitet haben, kennen Sie das Problem. Man versucht, die Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen – doch aus irgendeinem Grund werden die Innenseiten der Maschine extrem heiß. Das ist katastrophal. Wenn Infrarotenergie überallhin strahlt, wird nicht nur Energie verschwendet, sondern es entsteht auch eine echte Sicherheitsgefahr für die Personen, die in der Nähe der Maschine arbeiten müssen.
Wir lösen dieses Problem mithilfe von UHP-Lampen (Ultra High Purity-Lampen), die die Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird.
Die Wärme genau dorthin lenken, wo man sie haben will
Die meisten Lampen strahlen die Wärme in einem 360-Grad-Winkel ab. Das ist zwar ausreichend für Raumheizungen, aber nicht für Reinräume. Wir verwenden eine spezielle Mischung aus Quarz und einen intelligenten Reflektor, um die Infrarotwellen direkt auf die Wafer oder Substrate zu lenken. Dadurch wird die Wärme genau dort verwendet, wo sie benötigt wird. Der Rest der Maschine bleibt dabei kühl.
Das schwierige Problem: Materialien und Leistung
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz – schließlich reicht in einem Reinraum „fast reiner“ Quarz nicht aus. Jede kleine Verunreinigung im Glas kann dazu führen, dass Gase freigesetzt werden – und das kann dazu führen, dass ganze Chargen ruiniert werden.
Diese Lampen sind so konzipiert, dass sie schnell auf höchste Leistung gebracht werden können. Doch hier liegt das Problem: Man muss die Leistung genau richtig einstellen. Wenn man versucht, die Lampe überlastet zu nutzen, um den Heizevorgang etwas zu beschleunigen, wird der Filament zerstört. Es handelt sich dabei um einen einfachen Kompromiss: Man kann zwar schneller arbeiten, muss aber die Lampen häufiger austauschen.
Praktische Anwendung in der Praxis
Es ist immer wieder eine Herausforderung, diese Lampen in engen Räumen unterzubringen. Wir verwenden spezielle Steckverbinder, damit alles dichtig bleibt und die elektrischen Verbindungen nicht locker werden.
Noch ein Tipp: Überprüfen Sie vor dem Einschalten unbedingt die Kühlventilatoren. Selbst bei gezieltem Heizen entsteht eine enorme Menge an Wärme. Ein Teil dieser Wärme wird immer weitergeleitet. Wenn das Kühlsystem nicht stark genug ist, um die gesamte Leistung der Lampen zu bewältigen, werden die internen Sensoren auslösen und die Maschine abschalten.