如何保持100级洁净室的清洁状态
在运营100级洁净室时，实际上是在与那些看不见的污染物作斗争。大多数人只担心灰尘问题，但实际上，真正的敌人往往是加热元件本身。
问题在于：普通的红外灯，其端盖通常是用廉价塑料或胶水固定的。当温度升高时，这些材料就会开始分解，释放出挥发性有机化合物，同时还会产生微小的碎屑，这些碎屑会进入工作区域。对于那些希望维持无菌环境的人来说，这无疑是个噩梦。
为了解决这个问题，我们放弃了那些劣质的部件，转而使用高纯度的石英管，并配合专用的陶瓷端盖。
实现零污染的秘诀
我们选择合成石英作为灯管的外壳，因为它的纯度极高。这样一来，就无需担心金属杂质会在加热过程中掉落到晶圆或基板上。
不过，最容易出问题的地方还是密封部分。因此，我们选择了陶瓷材质。陶瓷不会释放气体，而且能够承受灯丝的膨胀和收缩，而不会出现裂纹或碎屑。这样，灯丝就能稳定地固定在其位置上。
存在的局限之处
虽然这些灯可以替代现有的固化及干燥设备，但它们也有缺点。由于陶瓷质地脆弱，不能像普通工业加热器那样被随意搬运。如果在安装过程中不小心摔到，陶瓷座就可能会破裂，这样一来，真空密封效果就会丧失，灯也会报废。请小心处理它们。
给工程师们的几点建议
在安装这些灯时，请务必检查反射器的情况。如果反射器表面有氧化层，那么无论灯本身有多干净，生产区域仍然会被污染。建议使用高纯度的铝制或镀金反射器。
另外，还要确保电源的功率与石英管的规格完全匹配。如果给灯丝施加过大的电压，不仅会缩短陶瓷密封件的使用寿命，还可能影响洁净室的认证水平。
只要操作得当、小心处理，这些灯就能正常工作。